|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ТАНТАЛОВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ ПО БЕЗВОДОРОДНОЙ ТЕХНОЛОГИИ CVDтезисы доклада
- Авторы: Лубнин А.Н., Ладьянов В.И., Сапегина И.В., Файзуллин Р.Р., Трещев С.Ю.
- Сборник: Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества. Материалы докладов IX Международной конференции с элементами научной школы для молодежи
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Место издания: Общество с ограниченной ответственностью "Буки Веди" Суздаль
- Первая страница: 164
- Последняя страница: 166
- Аннотация: Using hydrogen-free CVD technology in the TaBr5-Cd-He system, pure tantalum coatings with high protective corrosion properties and high adhesion strength to the substrate were obtained. The formation in SFin α-Ta and the formation of the metastable β-Ta phase are discussed in connection with the kinetics, deposition mechanisms, and protective properties of the resulting coating.
- Добавил в систему: Трещёв Сергей Юрьевич