Аннотация:Целью данной работы являлось исследование влияния параметров облучения ионами аргона на формирование состава и структуры поверхностных слоев систем Ni–Al и Ti–Al. Исследование методом РФЭС показало, что в условиях ионно-лучевого перемешивания при использованных параметрах облучения и толщин пленок, в поверхностных слоях системы никель-алюминий формируется интерметаллид, соответствующий Ni3Al-стехиометрии, а системы титан-алюминий - TiAl.