Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices - статья | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devicesстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus

Авторы: Miakonkikh A.V., Shishlyannikov A.V., Tatarintsev A.A., Kuzmenko V.O., Rudenko K.V., Gornev E.S.
Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Номер: 12157
Год издания: 2022
Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
Номер статьи: 1215717
DOI: 10.1117/12.2626386
Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич