Аннотация:оскопии исследована эволюция морфологии островковых пленок поли-хлор-п-ксилилена, сформированных на кремниевых подложках полимеризацией на поверхности из газовой фазы. Изучены зависимости эффективной толщины островкового покрытия, количества полимерных островков на единицу площади поверхности подложки и их среднего размера от степени заполнения подложки. Оценены предельная плотность полимерных островков и степень заполнения подложки, соответствующая переходу к режиму коалесценции. В рамках теории динамического скейлинга проведен анализ распределения островков по размерам и распределения по размерам их “зон захвата”. Показано, что при малых степенях заполнения подложки, до коалесценции островков, эти распределения описываются скейлинговыми функциями, соответствующими модели реакционно-лимитируемой агрегации. Из распределений по размерам “зон захвата” полимерных островков оценен размер критического зародыша.