|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
A new approach to modeling evaporation kinetic of volatile coordination compounds used as MOCVD precursorsстатья
- Авторы: Kuzmina N., Chemleva T., Isaeva E., Iljina E., Korsakov I., Chugarov N., Wahl G.
- Сборник: Chemical Vapour Deposition: Proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11, ed. by M.Allendorf, C.Bernard
- Серия: Electrochemical Society Proceedings Volume 97-25
- Год издания: 1997
- Место издания: The Electrochemical Society, Inc Pennington, NJ, USA
- Первая страница: 893
- Последняя страница: 900
- Добавил в систему: Корсаков Игорь Евгеньевич