|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Механизмы взаимодействия атомов и ионов Ar и He низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриковтезисы доклада
- Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
- Сборник: Сборник тезисов докладов XXIII межвузовской молодежной научной школы-конференции имени Б. С. Ишханова «Концентрированные потоки энергии в космической технике электронике, экологии и медицине» 23-24 ноября 2022 г
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Место издания: Москва
- Первая страница: 36
- Последняя страница: 37
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич