Аннотация:Дисульфид молибдена (MoS2) относится к кристаллическим материалам, привлекающим значительноевнимание исследователей благодаря ярко выраженному двумерному характеру его электронных свойств. Дляполучения MoS2 в качестве прекурсоров использовались термически распыляемый молибден и газообразныйсероводород, в результате реакции которых на поверхности кремниевой подложки формировалась пленка,состоящая из пластинчатых кристаллитов нанометровой толщины, образованных параллельно располо-женными атомными слоями, имеющими преимущественную ориентацию вдоль нормали к поверхностиподложки. Исследована зависимость морфологии пленок от длительности процесса осаждения, температурыподложки и концентрации прекурсоров в газообразной фазе. Изучение структурно-морфологическихсвойств и состава получаемых пленок с помощью методов электронной микроскопии и комбинационногорассеяния света выявило наличие монослойного и бислойного МоS2. Проведенный анализ показываетзависимость фотолюминесцентных свойств полученных мезопористых пленок от размеров составляющихих кристаллитов.