|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование ультратонких сверхпроводящих пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждениястатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Шибалов М.В., Порохов Н.В., Мумляков А.М., Трофимов И.В., Дюдьбин Г.Д., Тимофеева Е.Р., Тагаченков А.М., Ануфриев Ю.В., Зенова Е.В., Тархов М.А.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 91
- Номер: 4
- Год издания: 2021
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 672
- Последняя страница: 677
- DOI: 10.21883/jtf.2021.04.50632.262-20
- Добавил в систему: Порохов Николай Владимирович