|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Комплексные исследования эффектов зарядки полимерного резиста (ПММА) при электронной литографиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
- Авторы: Рау Э.И., Евстафьева Е.Н., Зайцев С.И., Князев М.А., Свинцов А.А., Татаринцев А.А.
- Журнал: Микроэлектроника
- Том: 42
- Номер: 2
- Год издания: 2013
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 116
- Последняя страница: 126
- DOI: 10.7868/S0544126913020105
- Аннотация: Приведены результаты измерений поверхностного потенциала зарядки пленок ПММА различной толщины под воздействием облучения электронными пучками различной энергии. Даны соответствующие диапазоны энергий первичных электронов для случаев как положительной, так и отрицательной зарядки диэлектриков. Показано, что для каждого значения толщины ПММА резиста существуют две индивидуальные критические энергии электронов, при которых резист не заряжает ся, и которые могут быть рекомендованы для низковольтной и высоковольтной электронной наноли тографии с минимальными ошибками позиционирования луча. Эксперименты показали очень высокое значение критического напряжения пробоя ПММАпленки, величиной порядка 107 В/см.
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | MIKROELEKTRONIKA_2013_tom_42__2_s._116-126.pdf | 357,3 КБ | 16 декабря 2013 [RauEI] |