|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Усовершенствование электронного тороидального спектрометра для РЭМ и его новые применения в диагностике структур микро- и наноэлектроникистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Гостев А.В., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Трубицын А.А.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 83
- Номер: 3
- Год издания: 2013
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 140
- Последняя страница: 147
- Аннотация: Описана новая версия электростатического тороидального спектрометра электронов, инсталлированного в сканирующий электронный микроскоп. Прибор позволил провести научно-исследовательские и прикладные работы в области высоколокальной неразрушающей диагностики материалов и приборных структур микро- и наноэлектроники. Приведены примеры по топологическому контролю трехмерных микроструктур методом томографии в обратнорассеянных электронах. Показана высокая эффективность приема энергетической фильтрации вторичных электронов при мониторинге локально легированных участков примесями p- и n-типа в полупроводниковых кристаллах. Дано физическое обоснование высокого контраста изображений легированных областей. Продемонстрирована возможность измерения в сканирующем электронном микроскопе спектров электронов во всем энергетическом диапазоне от медленных вторичных до упругоотраженных.
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович