Аннотация:В работе рассмотрена возможность использования пленок анодного оксида алюминия с высокоупорядоченной структурой пор в качестве калибровочных решеток c нанометровым периодом повторяемости для сканирующей электронной и зондовой микроскопии. Показано, что микроструктура поверхности анодного оксида алюминия позволяет использовать пленки с высокоупорядоченной структурой в качестве тест-объектов для экспресс-диагностики состояния зонда сканирующей зондовой микроскопии.In the present study we propose the use of anodic aluminum oxide (AAO) films as calibration gratings with a nanometer-sized period for scanning electron and scanning probe microscopy. We have illustrated that the microstructural features of AAO surface enables an express diagnostics of SPM tip shape and sharpness.