|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Сегментация изображений фрагментированных реперных меток с использованием комбинированных детекторов кривизны поверхности в зондовой микроскопиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Гуляев П.В., Шелковников Е.Ю.
- Журнал: Химическая физика и мезоскопия
- Том: 25
- Номер: 1
- Год издания: 2023
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
- Местоположение издательства: Ижевск
- Первая страница: 5
- Последняя страница: 12
- DOI: 10.15350/17270529.2023.1.1
- Аннотация: татья относится к области микро и наноразметки образцов. Рассмотрена разметка в виде отдельных реперных отметок, которые применяются для маркировки изделия, обозначения исследуемой области и линий, соединяющих эту область с макроориентирами на поверхности. В качестве инструментов разметки рекомендованы кантилевер сканирующего зондового микроскопа или индентор нанотвердомера, отпечатки которых имеют схожую форму. Особенностью данной формы является фрагментированность, которая образуется вследствие вспучивания материала поверхности при воздействии кантилевера или индентора. Выполнен анализ конвенциональных методов обработки, потенциально пригодных для сегментации изображения и локализации реперных отметок. Показана необходимость специализированных методов локализации, решающих проблему фрагментации. В качестве такого метода предложено использовать комбинированный детектор кривизны поверхности. Кривизна поверхности в каждой точки растра изображения оценивалась с помощью радиуса соприкасающейся окружности или сферы, а координаты центров сегментации (особых точек) определялись максимумами кривизны. В работе предложен вариант комбинирования детекторов кривизны, заключающийся в том, что более универсальный сферический детектор определяет расширенный набор особых точек, а также параметры фильтрации и поиска, используемые затем более избирательным детектором. Критерием локализации реперной отметки является ее детектирование обоими детекторами и пониженный радиус кривизны поверхности. Для сокращения особых точек на изображении предложено использовать фильтрацию Гаусса с радиусом, предварительно определенным детектором кривизны. Показано, что после такой обработки дифференциация реперных отметок от других особых точек, определяемая по радиусу кривизны поверхности, существенно возрастает.Ключевые слова: реперные отметки, сканирующий зондовый микроскоп, СЗМ-изображение, нанообъекты, наномаркировка, детектор кривизны.
- Добавил в систему: Гуляев Павел Валентинович