Осаждение тонких пленок методом испарения мишени из оксидов титана под действием лазерного излучения в плазме электродного ВЧ–разряда в кислородестатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст VysEn2_08ShakhatovLO.pdf 224,5 КБ 18 июля 2017 [shakhatov@ips.ac.ru]