Аннотация:При помощи методов рассеяния лазерного излучения и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) исследован рост частиц из атомов распыленного металла в плазме магнетронного ВЧ разряда. Показано, что большинство частиц наименьшего размера представляли собой монокристаллы или двойники распыляемого металла. Другие компактные частицы размером 5-7 мкм, которые росли вблизи электрода, имели шарообразную форму. На поздней стадии роста наблюдалась коагуляция этих частиц с формированием цепей и непрерывных гелеобразных структур миллиметрового масштаба. Рассчитана скорость коагуляции пылевых частиц в баллистическом режиме с потенциалом взаимодейтсвия, котоый учитвал эффекты поляризации поверхностного заряда частиц, с учетом влияния электрического поля в области левитации частиц и с учетом эффектов экранирования плазмой.