Аннотация:В работе было исследовано влияние переданной атомам мишени энергии налетающих частиц на разрушение структуры графенового покрытия осажденного на медную фольгу. Облучение графенового покрытия проводилось с использованием ионов He+ и Ar+ при энергии 100 кэВ при комнатной температуре образца. Исследование структуры мишеней до и после облучения проводилось методом комбинационного рассеяния света. Моделирование потерь энергии налетающими ионами при взаимодействии с атомами мишени проводилось методом Монте-Карло в приближении бинарных столкновений. Было показано, что основным механизмом разрушения графенового покрытия в процессе облучения является упругое взаимодействие налетающих частиц с атомами мишени.
