Аннотация:Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследован процесс восстановления поверхности оксидов MoO и WO33 при облучении ионами Ar+ и O с энергией 3 кэВ в условиях высокого вакуума. Обнаружено, что при облучении ионами Ar в поверхностных слоях высших оксидов образуются низшие и промежуточные оксиды и неокисленные металлы. Облучение ионами O+ приводит к образованию, главным образом, промежуточных оксидов при незначительном содержании низших оксидов. Установлено, что процесс ионно-лучевого восстановления поверхности оксидов MoO и WO3 существенным образом зависит от типа иона, дозы облучения и различия энергии связи металлкислород в оксидах.