Аннотация:Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследован процесс восстановления поверхности оксида WO3 при бомбардировке ионами He+ с энергией 1 и 3 кэВ в условиях высокого вакуума. Обнаружено, что в результате облучения ионами He+ в поверхностных слоях оксида WO3 сначала образуются оксиды WO2 и WOx (2 < x< 3), а при увеличении дозы облучения металлический вольфрам. Установлено, что степень металлизации поверхности облученного оксида повышается с увеличением энергии бомбардирующих ионов He+. Представлено сравнение изменений состава поверхности оксида WO3 при бомбардировке ионами инертных газов He+ и Ar+.