Fraunhofer diffraction on polygon and calculation of binary mask imagesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 февраля 2014 г.
Аннотация:A simple analytical formula for the spectrum of spatial harmonic components of a diffracted field is derived. It is used for construction of an effective algorithm of image calculation in photolithography.