Аннотация:Атомно-силовой микроскоп (АСМ) является основным инструментом для исследования нано- и микрообъектов. В связи с быстрым развитием наноиндустрии возник целый спектр задач, для которых высокоточное позиционирование зонда имеет первостепенное значение. Вместе тем, в ряде случаев такое позиционирование на нанообъекты или топологические особенности микрообъектов затруднено. Новая разработка ООО НПП "Центр перспективных технологий" [1] – атомно-силовой интерференционный микроскоп (АСИМ) – в значительной степени обеспечивает решение существующих проблем.