|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Атомно-силовой интерференционный микроскопстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Меньшиков Е., Яминский И.
- Журнал: Наноиндустрия
- Номер: 1
- Год издания: 2009
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 26
- Последняя страница: 28
- Аннотация: Атомно-силовой микроскоп (АСМ) является основным инструментом для исследования нано- и микрообъектов. В связи с быстрым развитием наноиндустрии возник целый спектр задач, для которых высокоточное позиционирование зонда имеет первостепенное значение. Вместе тем, в ряде случаев такое позиционирование на нанообъекты или топологические особенности микрообъектов затруднено. Новая разработка ООО НПП "Центр перспективных технологий" [1] – атомно-силовой интерференционный микроскоп (АСИМ) – в значительной степени обеспечивает решение существующих проблем.
- Добавил в систему: Мешков Георгий Борисович