|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Локальное окисление углеродных материалов для устройств наноэлектроникистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Мешков Г., Синицына О., Яминский И.
- Журнал: Наноиндустрия
- Номер: 4
- Год издания: 2010
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 34
- Последняя страница: 36
- Аннотация: Перспективными материалами для будущей наноэлектроники представляются углеродные нанотрубки, графен, тонкие графитовые пленки. Формирование диэлектрических наноструктур возможно, в частности, посредством локального окисления углеродных материалов.
- Добавил в систему: Мешков Георгий Борисович