|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Pre-production estimates for the choice of strategy and algorithm for monochromatic monitoring of the production of optical coatingsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 17 апреля 2024 г.
- Авторы: Tikhonravov A., Lagutina A., Lagutin Iu, Yagola A.
- Журнал: Applied optics
- Том: 62
- Номер: 18
- Год издания: 2023
- Издательство: Optical Society of America
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 4906
- Последняя страница: 4912
- DOI: 10.1364/ao.493497
- Аннотация: The paper proposes an approach for the pre-production selection of the most promising combination of a monochromatic monitoring strategy and a monitoring algorithm used for predicting termination of layer deposition. The approach is based on the previously introduced estimate of the strength of the expected error self-compensation effect and the new estimate, to the best of our knowledge, of the strength of the cumulative effect of thickness error growth presented in this paper. The application of the proposed approach is demonstrated using computational manufacturing experiments with various types of optical coating designs.
- Добавил в систему: Лагутина Алена Алексеевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|