Аннотация:Кратко рассмотрены особенности процесса микро-СЛП по сравнению с традиционными процессами СЛП/СЛС. Проведен анализ источников лазерного излучения для микро-СЛП. Приведены требования к проектированию сканирующей системы. Разработаны принципиальные оптические схемы и проведены оптические расчеты двух- и трехосевой сканирующих головок. В результате проведенных расчетов и анализа полученных систем сделан вывод, что для реализации сканирующей системы для микро-СЛП/СЛС предпочтительнее оказалась трехосевая схема. В качестве лазерного источника выбран лазер с длиной волны 0,532 мкммощностью 30 Вт.