Modification of Silicon Nanostructures by Cold Atmospheric Pressure Plasma Jets

Pokryshkin, N.S.; Yakunin, V.G.; Efimova, A.I.; Elyseev, A.A.; Presnov, D.E.; Savinov, V.P.; Timoshenko, V.Y.

Авторы: Pokryshkin N.S., Yakunin V.G., Efimova A.I., Elyseev A.A., Presnov D.E., Savinov V.P., Timoshenko V.Yu
Журнал: Eurasian Chemico-Technological Journal
Том: 25
Номер: 2
Год издания: 2023
Издательство: Institute of New Chemical Technologies and Materials of Al-Farabi Kazakh State National University
Местоположение издательства: Kazakhstan
Первая страница: 73
Последняя страница: 79
DOI: 10.18321/ectj1497
Аннотация: Струи холодной атмосферной плазмы (CAP) с плазмообразующими газами гелием (He) и аргоном (Ar) использовались для модификации структуры, фотолюминесценции (PL) и электрических свойств массивов кремниевых нанопроволок (SiNWs) с начальными размерами поперечного сечения порядка 100 нм и длиной около 7-8 микрон. Источник CAP состоял из генератора напряжения 30 кГц с полной мощностью до 5 Вт, а обработка CAP в течение 1-5 мин приводила к распылению кончиков SINW с последующим повторным осаждением атомов кремния. В массивах SiNW, обработанных плазмой, наблюдалось увеличение фазы оксида кремния и уменьшение интенсивности ФЛ. Уменьшение концентрации свободных дырок и увеличение плотности свободных электронов были обнаружены в SINW, сильно легированных бором и фосфором, соответственно, поскольку это отслеживалось с помощью рамановской спектроскопии, учитывая связь рассеяния света на фононах и свободных носителях заряда (эффект Фано) в SINW. Полученные результаты демонстрируют, что плазменная обработка может быть использована для изменения длины, рельефа, интенсивности свечения и электрических свойств кремниевых нанопроволок для возможного применения в оптоэлектронике и сенсорике.
Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Modification of Silicon Nanostructures by Cold Atmospheric Pressure Plasma Jetsстатья

Прикрепленные файлы