Fabrication of compressively-strained GeOI substrates using the Smart Cut<sup>TM</sup> technologyстатья
-
Авторы:
Augendre E.,
Sanchez L.,
Hartmann J.M.,
Van Den Daele W.,
Favier S.,
Guiot E.,
Ghyselen B.,
Bourdelle K.K.,
Cristoloveanu S.,
Billon T.,
Clavelier L.
-
Сборник:
2009 IEEE International SOI Conference
-
Год издания:
2009
-
Место издания:
IEEE
-
DOI:
10.1109/soi.2009.5318768
-
Добавил в систему:
Бурдель Константин Константинович