Управление вихреобразованием при выращивании трубчатых кристаллов

Верезуб, Н.А.; Простомолотов, А.И.

Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
Сборник: Сборник материалов школы «Волны и вихри в сложных средах»: 14-ая международная конференция – школа молодых ученых
Год издания: 2023
Место издания: ООО «ИСПО-принт», Москва
Первая страница: 63
Последняя страница: 66
Аннотация: Актуальными являются разработки непланарных технологий на основе монокристаллических трубок кремния малого диаметра, предназначенных для изготовления на их основе мощных силовых полупроводниковых приборов. Вытягивание из расплава трубок малого диаметра (35 мм) сопряжено со значительными трудностями в обеспечении необходимого вихреобразования внутри трубки. В данной работе использовалось малогабаритная установка Редмет-10, предназначенная для вытягивания монокристаллов кремния по Чохральскому. В конструкцию теплового узла этой установки были внесены существенные изменения с учетом результатов проведенного математического моделирования процессов гидродинамики, позволившие вырастить монокристаллические трубки кремния малого диаметра.
Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Управление вихреобразованием при выращивании трубчатых кристалловстатья

Прикрепленные файлы