Инновационные задачи механики при выращивании монокристаллов кремния

Простомолотов, А.И.; Верезуб, Н.А.

Авторы: Простомолотов А.И., Верезуб Н.А.
Сборник: XIII Всероссийский Съезд по теоретической и прикладной механике: сборник тезисов докладов в 4 томах, 21–25 августа, 2023 г., Санкт-Петербург. Т. 4. Материалы симпозиумов и Исторической сессии
Том: 4
Тезисы
Год издания: 2023
Место издания: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС Санкт-Петербург
Первая страница: 193
Последняя страница: 195
DOI: 10.18720/SPBPU/2/id23-630
Аннотация: Задачи механики процессов получения бездислокационных монокристаллах кремния являются актуальными и технически значимыми в связи с интенсивным развитием микроэлектроники, которая предъявляет все более высокие требования по минимизации уровня микро- и нанодефектов в пластинах кремния, используемых для изготовления электронных микросхем. Решение этих задач связано с изучением закономерностей ермомеханических процессов как на стадии выращивания монокристаллов кремния, так и на последующих термообработках вырезаемых из них пластин. Обсуждаются постановка и решение таких задач применительно к выращиванию бездислокационных монокристаллов кремния большого диаметра методом Чохральского имоделированию дефектообразования в них.Работа выполнена по теме госзадания ИПМех РАН (№ госрегистрации 123021700045-7).
Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Инновационные задачи механики при выращивании монокристаллов кремниятезисы доклада Исследовательская статья

Прикрепленные файлы