|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Динамика плазмы двухчастотного емкостного разряда в смеси Ar/Xeстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 1 мая 2024 г.
- Авторы: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Глотов А.В., Лопаев Д.В., Сысоев Н.Н., Шибанов Д.Р.
- Журнал: Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
- Том: 79
- Номер: 1
- Год издания: 2024
- Издательство: Изд-во Моск. ун-та
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 2410601-1
- Последняя страница: 2410601-7
- Аннотация: Исследована пространственно-временная динамика плазмы симметричного двухчастотного 1 МГц/1.76 МГц емкостного разряда под действием поля низкой частоты 1.76 МГц. С помощью метода фазово-разрешенной оптической эмиссионной спектроскопии получена динамикаинтенсивности излучения аргона и ксенона в плазме. Выполнены измерения функции распределения электронов по энергии в центре разряда с помощью зонда Ленгмюра и измерения плотности электронов с помощью СВЧ зонда. Основным результатом является динамика отношений интенсивности выделенных линий аргона и ксенона в зависимости от разных условий: при давлениях 40, 200 и 400 мТорр, амплитуде напряжения НЧ 100, 200 и 400 В, вложенной мощности на 81 МГц 3 Вт и 15 Вт. Исследована динамика высокоэнергичных электронов наоснове двухтемпературной аппроксимации функции распределения электронов по энергии.
- Добавил в систему: Рубекина Анна Александровна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Bogdanova_korrektura.pdf | 651,0 КБ | 9 января 2024 [aa.rubekina] |