Управление вихреобразованием при выращивании трубчатых кристаллов

Верезуб, Н.А.; Простомолотов, А.И.

Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
Журнал: Многофазные системы
Том: 18
Номер: 4
Год издания: 2023
Издательство: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение Уфимский федеральный исследовательский центр Российской академии наук
Местоположение издательства: Уфа
Первая страница: 311
Последняя страница: 313
DOI: 10.21662/mfs2023.4.093
Аннотация: Актуальными являются разработки непланарных технологий на основе монокристаллических трубок кремния малого диаметра, предназначенных для изготовления на их основе мощных силовых полупроводниковых приборов. Вытягивание из расплава трубок малого диаметра (35 мм) сопряжено со значительными трудностями в обеспечении необходимого вихреобразования внутри трубки. В данной работе использовалось малогабаритная установка Редмет-10, предназначенная для вытягивания монокристаллов кремния по Чохральскому. В конструкцию теплового узла этой установки были внесены существенные изменения с учетом результатов проведенного математического моделирования процессов гидродинамики, позволившие вырастить монокристаллические трубки кремния малого диаметра. http://mfs.uimech.org/2023/pdf/mfs2023.4.093.pdf
Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Управление вихреобразованием при выращивании трубчатых кристалловстатья Исследовательская статья

Прикрепленные файлы