Аннотация:С использованием фторсодержащих акриловых мономеров, обладающих высокой оптической прозрачностью в телекоммуникационных диапазонах длин волн вблизи 0.85, 1.3 и 1.55 мкм, сформированы массивы полимерных волноводов на стандартной печатной плате FR4. Для создания волноводов использовался метод контактной УФ фотолитографии с длиной волны актинического излучения 250 280 нм. Достигнута степень интеграции 625 шт/см для волноводов с шириной и высотой световедущей жилы 10 ´ 15 мкм. Разработан метод внедрения в полимерные волноводы наночастиц NaYF 4, легированных редкоземельными элементами. Массивы полимерных волноводов могут быть использованы в качестве оптической шины передачи данных в высокоскоростных микропроцессорных вычислительных системах на печатной плате, в которых обмен информацией между СБИС осуществляется с помощью оптических сигналов.