Аннотация:Исследован процесс поверхностного модифицирования пленок поливинилтриметилсиланапод воздействием низкотемпературной плазмы, генерируемой разрядом переменноготока пониженного давления частотой 40 кГц с рабочим газом фильтрованныматмосферным воздухом. Установлено, что под действием плазмы поверхность образцовприобретала устойчивое свойство гидрофильности. Химическая структура исходной имодифицированной пленок исследована методом рентгенофотоэлектронной спектроскопии(РФЭС), а морфология — методом атомно-силовой микроскопии (АСМ). Показано, чтовоздействие разряда приводит к увеличению шероховатости поверхности и образованиюна поверхности слоя SiOх, однако в меньшей степени, чем при обработке в разрядепостоянного тока. Изучение газотранспортных свойств модифицированных образцовпоказало, что селективность по паре O2/N2 оказывается несколько ниже, чем у пленок,обработанных в плазме постоянного тока, но при этом наблюдается большая стабильностьпараметров газоразделения во времени.