ИЗМЕРЕНИЕ ГРАДИЕНТА ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПО ТОЛЩИНЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ МЕТОДОМ ВОЗБУЖДЕНИЯ ВОЛНОВОДНЫХ МОДстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 июля 2024 г.
Аннотация:Предложен метод измерения градиента показателя преломления n(z) в неоднородных по толщине диэлектрических пленках. Метод основан на возбуждении волноводных мод в пленке с помощью призмы нарушенного полного внутреннего отражения и на расчете n(z) и толщины Hf пленки, исходя из угловых положений TE или TM мод. Он может использоваться при произвольной форме модуляции показателя преломления по толщине пленки в пределе слабого градиента (Δn(z)/n(z)≪1).