Устойчивость органосиликатных low-k диэлектриков с бензольными мостиками к воздействию вакуумного ультрафиолетового излучения плазмы в процессе нанесения Ta барьерного покрытиястатья Исследовательская статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 июля 2024 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст 57099.pdf 333,7 КБ 14 февраля 2024 [ANRyabinkin]