Аннотация:Описаны результаты комплексного исследования структуры, фазового и химического состава, микротвердости, наномеханических и трибологических свойств легированных хромом покрытий гидрогенизированного аморфного углерода a-C:H:Cr:N, полученных реактивным магнетронным распылением хрома при различных содержаниях азота и ацетилена в активной атмосфере, представляющей собой смесь Ar+C2H2+N2. Показано, что углерод в полученных покрытиях представляет собой неупорядоченную смесь областей с тетраэдрической (sp3) и гексагональной (sp2) координацией углеродных атомов, в которой при определенных условиях осаждения возможно также образование малых областей с наноалмазной структурой. При этом легирующий металл в покрытии представлен наноразмерными включениями металлического хрома и его карбидных и нитридных фаз. Впервые обнаружено, что дополнительное легирование покрытий a-C:H:Cr азотом позволяет улучшить их микромеханические и трибологические характеристики.