|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Кварцевая эталонная мера для сканирующей зондовой микроскопиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 июля 2024 г.
- Авторы: Ахметова А.И., Советников Т.О., Логинов Б.А., Яминский Д.И., Яминский И.В.
- Журнал: Наноиндустрия
- Том: 17
- Номер: 2
- Год издания: 2024
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 98
- Последняя страница: 105
- DOI: 10.22184/1993-8578.2024.17.2.98.105
- Аннотация: Повышение точности и достоверности измерений в наномасштабе становится все более актуальной задачей для различных приложений, особенно в таких областях, как полупроводниковая электроника, оптические метаматериалы, сенсоры и биологические измерения. С появлением методов визуализации высокого разрешения закономерно возникла и потребность в метрологической поверке этих приборов. Появилась задача измерить наноразмерную морфологию в конкретном местоположе- нии, что требует точности позиционирования как в вертикальном, так и в латеральном направлении. Стабильность и надежность измерений требуют регулярно отлаживать микроскоп с помощью калибро- вочных средств. Одним из таких эталонов могут быть кварцевые калибровочные меры.
- Добавил в систему: Советников Тимофей Олегович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Nanoindustriya_No2_Kvartsevaya_mera.pdf | 674,0 КБ | 5 апреля 2024 [Timofei_Sovetnikov] |