|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Experimental and Numerical Study of Capacitive RF Discharge in Metallic Chamber Serving as an Electrodeстатья
- Авторы: Shishkin A.G., Shishkin G.G.
- Сборник: Proceedings of XXII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
- Том: 1
- Год издания: 1995
- Место издания: Hoboken, USA
- Первая страница: 127
- Последняя страница: 128
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич