|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Механизмы деградации МОП-структур с high-k диэлектрикамистатья
- Авторы: Шалимова М.Б., Афанасков В.С., Хавдей Е.Н.
- Журнал: Вестник Самарского государственного университета
- Том: 104
- Номер: 3
- Год издания: 2013
- Издательство: Изд-во "Самар. ун-т"
- Местоположение издательства: Самара
- Первая страница: 107
- Последняя страница: 119
- Аннотация: Представлены результаты изучения процессов изменения электрофизических характеристик при различных режимах работы МОП-структур и анализ наиболее вероятных механизмов деградации структур. Затворный диэлектрик изготавливался из оксидов редкоземельных элементов (high-k диэлектрики). Проводилась оценка влияния электрического поля и температуры на изменение зарядового состояния исследуемых структур, определялась величина энергетической плотности поверхностных состояний на границе раздела диэлектрик-полупроводник.
- Добавил в систему: Шалимова Маргарита Борисовна