|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние термического отжига на структуру скрытых слоев кремния с гелиевыми порами-пузырямистатья
- Авторы: Ломов А.А., Мяконьких А.В., Чесноков Ю.М., Киселев Д.А., Орешко А.П.
- Сборник: XXVII международная конференция "Радиационная физика твердого тела"
- Серия: Радиационная физика твёрдого тела
- Год издания: 2017
- Место издания: ФГБНУ «НИИ ПМТ»
- Первая страница: 78
- Последняя страница: 88
- Добавил в систему: Орешко Алексей Павлович