Аннотация:Проведено исследование пленок нитрида алюминия, полученных методом реактивного ВЧ магнетронногонапыления с сопутствующей ионно-лучевой обработкой на подложках из кварца, стекла, алюминия и стали. Выявленовлияние интенсивности ионно-лучевой обработки на скорость роста пленок, оптические и механические свойства.Рентгенофазовый анализ полученных пленок показал, что пленки нитрида алюминия являются рентгеноаморфными.Пленки нитрида алюминия обладают высокой прозрачностью. Энергодисперсионный анализ пленок на подложках стали иалюминия показал рост концентрации азота с увеличением тока ионно-лучевой обработки.