Аннотация:В работе предложен новый подход к анализу спектров электрохимического импеданса пористых танталовых тел,заключающийся в моделировании частотного отклика с использованием эквивалентной схемы, учитывающей иерархию пор. Показано, что предложенная схема хорошо описывает экспериментальные данные и позволяет определить ряд важных характеристик пористой структуры, в том числе вклад различного типа пор в суммарную емкость пористого тела, характерные времена релаксации и частоты активации разного типа пор. Анализировали два типа образцов - пористое танталовое тело, полученное спеканием порошка Ta, и пористое тело со сформированным слоем диэлектрика из Ta2O5. Моделирование показало значительное перераспределение вкладов различного типа пор в суммарную емкость после формирования Ta2O5, обусловленное преимущественной изоляцией наиболее мелких и труднодоступных пор. Результаты моделирования частотного отклика образцов согласуются с данными сканирующей электронной микроскопией. Предложенный в работе подход может быть полезен для контроля и совершенствования технологии производства танталовых конденсаторов.