Аннотация:Методами спектральной эллипсометрии и атомно-силовой микроскопии определен оптимальный режим нанесения наноразмерного слоя геля V2O5 на поверхность InP методом центрифугирования. Оксидированием сформированных гетероструктур VxOy/InP получены пленки, имеющие зеренную структуру, с высотой рельефа не более 70 нм (АСМ, СТМ). Присутствие неполностью окисленных компонентов хемостимулятора (VO2, V2O3) в пленках и наличие InVO4, связывающего хемостимулятор V2O5 и блокирующего тем самым цикл регенерации V+5 ↔ V+4, позволяет говорить о реализации транзитного механизма хемостимулированного оксидирования фосфида индия. Данные спектральной эллипсометрии свидетельствует о неполной кинетической блокировке диффузии индия в пленки в процессе оксидирования.