СОЗДАНИЕ НАНОЧАСТИЦ ZNO В СТРУКТУРЕ SIO2/SI МЕТОДОМ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ ZN+ С ПОСЛЕДУЮЩЕЙ ТЕРМООБРАБОТКОЙстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК