|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Изменение структуры и состава имплантированной ионами цинка поверхности кремния в процессе образования наночастиц при термической обработкестатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 12 июля 2017 г.
- Авторы: Привезенцев В.В., Табачкова Н.Ю., Куликаускас В.С., Петров Д.В., Лебединский Ю.Ю.
- Журнал: Известия Российской академии наук. Серия физическая
- Том: 77
- Номер: 8
- Год издания: 2013
- Первая страница: 1063
- Последняя страница: 1069
- Аннотация: Представлены результаты исследования формирования наночастиц (НЧ) на поверхности кремниевых пластин после имплантации цинка и термических отжигов. Для исследования использовались методы просвечивающей электронной микроскопии, электронографии, энергодисперсионного микроанализа, сканирующей туннельной микроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной/оже-спектроскопии. Установлено, что в имплантированных образцах на поверхности находятся только пленка аморфизованного кремния, содержащего имплантированный цинк и кислород, и загрязнения углеродом. Термообработка в диапазоне 400-800°C приводит к образованию на поверхности пластин кроме окисного слоя кремния толщиной около 20 нм еще и НЧ с поперечным размером 20-50 нм и высотой до 10 нм. Эти НЧ состоят из соединений окисленного цинка типа ZnO, ZnSiO[3] или Zn[2]SiO[4]. После отжига при 1000°C эти НЧ исчезают.
- Добавил в систему: Куликаускас Вацловас Станиславович