|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзисторастатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Басов Михаил Викторович, Пригодский Денис Михайлович
- Журнал: Нано- и микросистемная техника
- Том: 19
- Номер: 11
- Год издания: 2017
- DOI: 10.17587/nmst.19
- Аннотация: Проведены исследования высокочувствительной МЭМС преобразователя дав-ления, основанной на функционировании электрической схемы дифференциального каскада с тензочувствительными активными (биполярные транзисторы n-p-n) и пассивными (резисторы p-типа) элементами. Представлен сравнительный анализ относительно аналогов на тензорезистивном мосте Уитстона.
- Добавил в систему: Басов Михаил Викторович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Investigation_of_sensitive_element_for_pressure_sensor_base… | Investigation_of_sensitive_element_for_pressure_sensor_base… | 9,7 МБ | 21 октября 2019 [BasovMikhail] |