Аннотация:Проанализировано свободномолекулярное течение газа в цилиндрических каналах (капиллярах) с непроницаемыми стенками для различных схем рассеяния молекул стенками каналов с учетом поверхностной диффузии адсорбированных молекул и течение газа в таких каналах с учетом фазовых превращений на их стенках. Выявлено существенное влияние поверхностной диффузии на массоперенос газовых смесей в указанных каналах. Расcмотрена модификация феноменологических соотношений неравновесной термодинамики прерывных систем. Обсуждена проблема равномерного осаждения тонких пленок на внутреннюю поверхность цилиндрического канала