|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Управление процессом формирования и структурой тонких пленок. Ионно-стимулированные процессы.-статья
- Авторы: Гусева М.Б., Бабаев В.Г., Хвостов В.В., Савченко Н.Ф.
- Журнал: Нанотехнологии: разработка, применение — XXI век
- Номер: 1
- Год издания: 2010
- Издательство: Издательство "Радиотехника"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 15
- Последняя страница: 28
- Аннотация: Проведены количественные исследования процесса формирования тонких пленок в условиях облучения медленными ионами инертных газов, и установлены закономерности влияния параметров ионного облучения на структуру и рост тонких пленок. Созданы физические основы ионной технологии пленочных материалов с заданной структурой и свойствами, безмасочного управления геометрией (рисунком) тонких слоев.
- Добавил в систему: Савченко Наталья Федоровна