КОМПОЗИЦИЯ ОКСИДОВ МNО + МN02 КАК НЕАДДИТИВНЫЙ ХЕМОСТИМУЛЯТОР ПРОЦЕССА ТЕРМООКСИДИРОВАНИЯ GAASстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 февраля 2016 г.
Аннотация:При исследовании совместного воздействия оксидов МnО и Мn02 на процесс термического окисления GaAs установлено, что для оксидов-активаторов всех составов наблюдается ускоренное формирование оксидной пленки, определяемое хемостимулирующим воздействием активаторов. Выявлен нелинейный характер зависимости толщины результирующего оксидного слоя на поверхности GaAs от состава композиции оксидов-активаторов и предложена схема протекающих процессов с интерпретацией наблюдаемых эффектов.