Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучкомстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:На основе метода Монте-Карло предложен новый подход к моделированию взаимодействия электронов с веществом. Рассмотрен ряд явлений, связанных с выделением энергии и накоплением заряда в облучаемом образце. Проведен расчет распределений потенциала электрического поля и поляризации резистов, создаваемых накопленным в процессе облучения зарядом. Показано, что зарядка является существенным обстоятельством, способным вызвать значительную потерю точности в электронной литографии.