|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ЭЛЕКТРООСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, СОДЕРЖАЩИХ КОБАЛЬТ, НА КОМПОНЕНТЫ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СТРУКТУРстатья
- Авторы: ТУРАЕВ ДМИТРИЙ ЮРЬЕВИЧ, ГВОЗДЕВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ИБРАГИМОВ ДАМИР РУЗДАНОВИЧ, ЦУКАНОВА ОЛЬГА ЮРЬЕВНА, ВАЛЕЕВ АДИЛЬ САЛИХОВИЧ, КРУГЛИКОВ СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ
- Журнал: Гальванотехника и обработка поверхности
- Том: 22
- Номер: 3
- Год издания: 2014
- Первая страница: 36
- Последняя страница: 42
- Аннотация: Предложены электролиты на основе ацетата кобальта для электроосаждения тонких металлических пленок, содержащих кобальт, на зеркальный тонкий медный подслой. Показано, что из предложенных электролитов можно электроосадить тонкий металлический слой, содержащий кобальт, на медную подложку компонентов микроэлектронных структур.
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич