|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Получение однородной плазмы тлеющего ВЧЕ - разряда в зоне плазмохимической обработки подложкистатья
- Авторы: Рябый В.А., Савинов В.П., Якунин В.Г.
- Журнал: Вестник Казанского технологического университета
- Номер: № 13
- Год издания: 2011
- Первая страница: 36
- Последняя страница: 41
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич