The mechanism of cubic boron nitride deposition in hydrogen plasmasстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 сентября 2015 г.
Аннотация:Deposition of cubic boron nitride in hydrogen plasma is thought to proceed as a result of selective etching of sp2-hybridized boron nitride from the surface of the growing boron nitride film, the impact of hydrogen atoms or ions leading to formation of c-BN sp3 bonds on the surface and formation of metastable BNHx species in the gas phase. The mechanism of nucleation and growth of c-BN crystals in hydrogen plasmas is proposed.